判断扫描电镜（SEM）图像是否聚焦良好，主要依靠观察图像的细节清晰度和边缘锐利度。以下是一些具体方法和技巧：

细节清晰度

图像中微小结构（如颗粒边缘、纹理、裂缝等）是否清晰分明，没有模糊或拖影。

细节处的对比度是否明显，边缘分界清楚。

边缘锐利度

样品表面形貌的边缘线条应清晰锐利，不出现模糊扩散。

观察边缘是否有“晕影”或模糊，这通常表示焦点未对准。

三维感和立体感

聚焦良好的图像通常具有较强的立体感，阴影和高光分布合理。

焦点偏差会使图像显得扁平或细节层次不分明。

对比度变化

适当调整焦距时，图像对比度会出现明显变化，正确聚焦时对比度高。

辅助调整

利用SEM软件中的聚焦辅助功能（如自动对焦或聚焦峰值显示）。

使用放大倍率逐步微调焦距，观察图像变化。

通过调节工作距离和电子束参数，寻找聚焦点。