当扫描电镜（SEM）开机后电子束无法对中时，可按以下步骤系统排查和调整：

1. 基础检查

确认真空状态：确保镜筒和样品室已达工作真空（通常显示“Ready”）。

检查电子枪状态：

钨灯丝SEM：确认灯丝已饱和（发射电流稳定）。

场发射SEM：检查发射电流和提取电压是否正常。

样品台位置：复位到“Home”位置，避免机械干涉。

2. 电子束对中流程

步骤1：低倍率初步对中

选择导电性好的校准样品（如镀金硅片），装载到样品台。

切换至低倍率（100×~500×），聚焦图像。

调节电子枪对中（Gun Alignment）：

通过软件或面板调整Gun Tilt和Gun Shift，使束斑居中。

钨灯丝SEM建议在Spot Size 3~5下操作。

步骤2：聚光镜与光阑对中

聚光镜调整：

调节Condenser Lens Current，使束斑直径最小且居中。

若束斑发散，检查透镜电源是否稳定。

物镜光阑对中：

插入物镜光阑（如30μm），在高倍率（10,000×）下观察。

调节Aperture X/Y旋钮，直至图像亮度均匀无阴影。

若图像抖动，清洁或更换污染的光阑。

步骤3：合轴与像散校正

切换至高倍率（50,000×以上），聚焦样品边缘。

调节Alignment Coils（或软件中的Beam Shift），确保图像放大/缩小时中心不漂移。

使用Stigmator消除像散：调整X/Y使图像细节清晰对称。