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扫描电镜样品台倾斜角度调节的作用

日期:2025-04-28

在扫描电镜(SEM)中,调节样品台倾斜角度的作用主要有以下几点:

1. 增强表面立体感和细节对比

适当倾斜样品,可以让电子束在表面形成更明显的阴影效果,使纹理、颗粒、微小凹凸的细节更加清晰。

这种立体感提升,有助于观察样品的微观结构特征,比如裂纹、孔洞、台阶状形貌。

2. 改善背散射电子成像(BSE)对比

BSE 成像对元素原子序数(Z值)敏感。

样品倾斜后,不同区域的背散射强度变化更明显,可以提高成分对比,使材料分界更加清晰。

3. 有助于能谱分析(EDS)

进行能谱(EDS)检测时,理想状态是电子束与样品表面接近垂直,探测器与样品之间角度适中。

适当倾斜可以优化探测器的接收角,提高能谱信号采集效率,减少遮挡,提升分析准确性。

4. 便于特定断面或内部结构观察

如果需要观察样品的某个断面、剖面,或者内部细微结构,倾斜样品可以让目标区域直接暴露在电子束下,更容易成像。

5. 减少充电效应(在某些情况下)

对绝缘样品,适当倾斜可能有助于电子荷流更好地分散,略微缓解局部充电导致的成像问题。


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作者:威尼斯886699