扫描电镜（SEM）图像出现亮度不均，一般说明系统内部或操作设置上出现了问题。常见原因和对应处理方法可以从以下几个方面入手排查和解决：

1. 样品问题

样品表面不平整或高低起伏大，导致电子束入射角变化，造成不同区域的信号强弱差异。

尝试重新调整样品姿态，保证待观察区域尽量平整并与电子束垂直。

样品导电性差，局部积累电荷（充电效应），导致亮度漂移或局部过亮/过暗。

可以对样品表面喷金或碳镀膜，提高表面导电性，抑制充电。

2. 电子束设置问题

束流太大，容易引发局部充电或电子束过热，造成图像某些地方发白。

适当降低束流（减小光阑孔径或降低枪电流）。

加速电压设置不合理，如果电压过低，入射电子易受表面电荷影响；电压过高，样品易被击穿。

根据样品材质调整合适的加速电压，通常导电样品高电压，绝缘样品低电压。

3. 探测器或信号问题

探测器角度不当，导致收集电子量不均。

调整探测器角度或切换不同探测器（如SE、BSE），使信号接收更均匀。

探测器老化、污染，导致接收效率下降或局部失灵。

检查探测器状态并清洁，如必要联系维修更换。

4. 校准与光学系统问题

电子束对中不良，束斑中心偏移，导致画面边缘亮度下降。

使用系统的“Gun Alignment”或“Beam Alignment”功能进行重新对中。

扫描校准错误，导致信号增益随扫描位置变化。

重新进行扫描幅度和增益的校准。

5. 设备环境问题

电源波动或地线干扰，造成信号不稳定，亮度变化。

检查供电，必要时加装稳压电源或UPS。

机身受潮或污染，特别是探测器区域。

保持设备环境干燥清洁，并定期进行内部维护。